• 叉指电极的技术参数

     

    项目 参数 单位
    线宽 >70 μm
    线距 >70 μm
    金属层厚度 >1 μm
    耐温测试 -50~150
    金属层 镍,铜,金,镍-磷,金锡合金
    基体

    氧化铝,氮化铝,玻璃,硅片,压电陶瓷,微波介电陶瓷,塑料薄膜。

    注:具体陶瓷性能和型号的选择可以参考本页描述。

  • 纳米多孔金层

    在导体和绝缘体表面上获得纳米多孔金层,可作为电化学传感器,生物传感器和高敏感电极材料。加工方法是在导电化处理后的表面电镀金锡的合金,再通过化学蚀刻的方式去除掉锡元素,从而获得纳米级多孔的金层。本公司提供多孔金的加工服务和金锡合金镀液服务。获得的多孔金的外观照片效果如下:

     

       

     1.a)上部分是电镀金锡合金处理,(b)35%硝酸中除去锡获得的多孔金,(c)5M氢氧化钠和1M双氧水中去锡获得的多孔金. 

      

                      图2.多孔金显微SEMEDX能谱       3. 金锡合金和纳米多孔金的XRD谱图         图4.泡沫镍表面加上的多孔金电极SEM及XRD谱图. 

  • 高透明陶瓷

    蓝宝石衬底和石英玻璃的力学、电学性能

    项目 参数 单位 备注
    主要成分 氧化铝(Al2O3)   蓝宝石衬底
    莫氏硬度 9(仅次于钻石:10)    
    热导率 25.12 W/m·k 100℃
    介电常数 11.5(//c),9.3(⊥c)    
    折射率 no=1.768 ne=1.760 μm  
    透光特性 T≈80%(0.3-5μm) μm  
           
    石英玻璃纯度 99.9%    
    莫氏硬度 7(仅次于钻石:10)    
    热导率 >18.45 kV/mm  
    体积电阻率 1x1019  Ω·cm  20℃
    介电常数 11.5(//c),9.3(⊥c)   1Mhz
    折射率 1.544 μm  
    热电常数 1200μV/℃   300℃
    透光特性 T≈80%(0.3-5μm)    

     

  • 高绝缘陶瓷基板

    氧化铝和氮化铝的力学、电学性能

    项目 参数 单位 备注
    主要成分 氧化铝(Al2O3)    
    击穿电压 >20.0 kV/mm  
    介电常数 9.8   1Mhz
    介电损耗 3.0 10-4 1Mhz
    粗糙度Ra <0.5 μm  
    厚度偏差 ±20.0 μm  
    剥离强度 >5.0 N/mm  
           
    主要成分 氮化铝(AlN)    
    抗折强度 MPa    
    击穿电压 >18.45 kV/mm  
    体积电阻率 >1x1014 Ω·cm 25℃
    介电强度 8.56   1Mhz
    粗糙度Ra 0.3-0.5 μm  
    剥离强度 >4.0 N/mm  
  • 工艺加工参数

    项目

    参数

    单位

    最小线宽线距

    70*70

    μm

    金属厚度

    <10

    μm

    导电层

  • 高介电性陶瓷

    材料编码
    介电常数
    品质因数
    (Ghz)
    频率温度系数(ppm/℃)
    比重
    g/m3
    CBS-4
    3.8±0.2
    20,000
    2.2
    ZST-7
    6.8±0.2
    70,000
    -40±5
    4.1
    ZST-10
    10.0±0.2
    65,000
    5
    4.2
    MST-12
    12.0±0.3
    150,000
    -50±5
    3.6
    MTC-13
    12.8±0.2
    60,000
    5
    MST-16
    16.0±0.3
    60,000
    4
    3.9
    BCT-12
    21.0±0.3
    60,000
    3
    3.8
    BMT-24
    24.0±0.3
    200,000
    2
    7.5
    MLT-26
    26.0±0.3
    60,000
    3
    4.0
    BZN-32
    32.0±0.3
    70,000
    3
    5.8
    BZT-35
    35.0±0.5
    50,000
    3
    4.6
    BZT-36
    36.0±0.5
    50,000
    3
    4.6
    ZST-38
    39.0±0.5
    55,000
    2
    5.0
    ZNT-45
    45.0±0.5
    40,000
    2
    4.8
    ZNT-50
    50.0±0.7
    30,000
    20±5
    4.9
    BST-78
    78.0±1.0
    10,000
    5±5
    5.6
    BSNT-85
    85.0±1.0
    8,000
    10
    5.6